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目前Z為成功并Z實用的微型機電器件-微型傳感器

2016-03-31 [2327]

微(wei)型傳感器(qi)是目前zui為成功(gong)并實用性的(de)微(wei)型機(ji)電(dian)(dian)器(qi)件,主要(yao)包(bao)括(kuo)利用微(wei)型膜片(pian)的(de)機(ji)械(xie)形變產(chan)生(sheng)電(dian)(dian)信號輸出的(de)微(wei)型壓力傳感器(qi)和微(wei)型加速度傳感器(qi);此外,還有微(wei)型溫度傳感器(qi)、磁場傳感器(qi)、氣體傳感器(qi)等,這些(xie)微(wei)型傳感器(qi)的(de)面積大多在(zai)1 mm2以下(xia)。

隨著微(wei)電子加工技術,特(te)別是納(na)米(mi)加工技術的(de)進一(yi)步(bu)發展,傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)技術還將從微(wei)型(xing)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)進化到納(na)米(mi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)。這(zhe)些(xie)微(wei)型(xing)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)體(ti)積小,可實現許多(duo)全新的(de)功能,便(bian)于大批量和高精度生產,單(dan)件成(cheng)本低,易構(gou)成(cheng)大規模和多(duo)功能陣列,這(zhe)些(xie)特(te)點使(shi)得它(ta)們(men)非常適(shi)合于汽車方(fang)面的(de)應用。

汽車(che)用傳(chuan)感(gan)器(qi)是用于汽車(che)顯示(shi)和(he)電控(kong)系統的(de)各(ge)(ge)(ge)種傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)統稱。它涉及到很多(duo)的(de)物理(li)量傳(chuan)感(gan)器(qi)和(he)化學量傳(chuan)感(gan)器(qi)。這些傳(chuan)感(gan)器(qi)要么是使司機(ji)了解汽車(che)各(ge)(ge)(ge)部分狀態(tai)的(de);要么是用于控(kong)制汽車(che)各(ge)(ge)(ge)部分狀態(tai)的(de)。

汽車用溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)傳(chuan)感(gan)(gan)器主(zhu)要(yao)用于檢測發動(dong)機溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)、吸人氣(qi)體(ti)溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)、冷卻水(shui)溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)、燃(ran)油溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)以及催化溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)等。溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)傳(chuan)感(gan)(gan)器有(you)(you)熱敏電(dian)阻式、線繞電(dian)阻式和熱偶電(dian)阻式三種(zhong)主(zhu)要(yao)類(lei)型(xing)。這(zhe)三種(zhong)類(lei)型(xing)傳(chuan)感(gan)(gan)器各(ge)有(you)(you)特點(dian),其應(ying)(ying)用場(chang)合也略有(you)(you)區(qu)別。熱敏電(dian)阻式溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)傳(chuan)感(gan)(gan)器靈敏度(du)(du)(du)(du)高(gao)、響應(ying)(ying)特性較好,但線性差(cha)、適應(ying)(ying)溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)(du)(du)較低。

其(qi)(qi)中,通用型的(de)(de)測(ce)溫(wen)(wen)(wen)(wen)范(fan)圍(wei)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)-50℃~30℃,精(jing)(jing)度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)1.5%,響(xiang)應(ying)(ying)時(shi)(shi)間(jian)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)10 ms;高(gao)(gao)溫(wen)(wen)(wen)(wen)型為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)600℃~1000℃,精(jing)(jing)度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)5%,響(xiang)應(ying)(ying)時(shi)(shi)間(jian)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)10ms;線繞電(dian)阻式(shi)溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)傳(chuan)感器的(de)(de)精(jing)(jing)度(du)(du)高(gao)(gao),但響(xiang)應(ying)(ying)特性差;熱偶(ou)電(dian)阻式(shi)溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)傳(chuan)感器的(de)(de)精(jing)(jing)度(du)(du)高(gao)(gao),測(ce)量(liang)溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)范(fan)圍(wei)寬,但需要配合放大器和冷(leng)端處理(li)一(yi)起使用。其(qi)(qi)他已實(shi)用化的(de)(de)產品(pin)有鐵氧體式(shi)溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)傳(chuan)感器(測(ce)溫(wen)(wen)(wen)(wen)范(fan)圍(wei)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)-40℃~120℃,精(jing)(jing)度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)2.0%)、金(jin)屬或半導體膜空氣溫(wen)(wen)(wen)(wen)度(du)(du)傳(chuan)感器(測(ce)溫(wen)(wen)(wen)(wen)范(fan)圍(wei)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)-40℃~150℃,精(jing)(jing)度(du)(du)為(wei)(wei)(wei)(wei)(wei)2.0%,5%,響(xiang)應(ying)(ying)時(shi)(shi)間(jian)約20 ms)等(deng)。

微型傳感器(qi)應用(yong)于提(ti)高(gao)(gao)員(yuan)工(gong)工(gong)作(zuo)效率,傳感器(qi)通(tong)常內置于*,或者放在辦(ban)公家具上,它(ta)們會(hui)記錄員(yuan)工(gong)從辦(ban)公桌起立、咨詢(xun)其它(ta)團隊和舉行會(hui)議的(de)頻率。讓數據帶來了難以從其它(ta)途徑(jing)獲(huo)得的(de)有(you)關員(yuan)工(gong)工(gong)作(zuo)情況的(de)見解(jie)。為了推(tui)動(dong)協(xie)作(zuo)和提(ti)高(gao)(gao)員(yuan)工(gong)工(gong)作(zuo)效率,它(ta)們正利用(yong)相關信(xin)息作(zuo)出大(da)大(da)小(xiao)小(xiao)的(de)改變,從確定(ding)休息時(shi)間,到編(bian)排工(gong)作(zuo)小(xiao)組。傳感器(qi)還能(neng)夠揭示員(yuan)工(gong)對辦(ban)公空間的(de)使(shi)用(yong)方式。